超声波喷涂技术技术

超声波喷涂技术原理如下。让喷涂的液体与利用超声波上下振动以生成液滴的头部相互接触，将液体尺寸细化为次微米级，然后直接涂布。原来使用喷嘴的空气喷涂方式在气压作用下使液体"接触底板"，而此次的超声波喷涂方式则将打得很细的液体直接"涂布到底板上"。

超声波喷涂方法的优点是：

（1）由于涂布的是微细化至次微米级的液体，所以可以形成次微米级膜厚以及高精度形成薄膜；

（2）空气喷涂方式的问题在于液体被底板弹回及液体向旁边飞散，而此次开发的方法不会产生这些问题；

（3）由于液体是在分散后的状态直接涂布的，所以材料利用率高达95～99％；

（4）不需要空气喷涂装置通常使用的喷嘴，不会出现喷嘴堵塞的情况。

　　其中，由于不会造成喷嘴堵塞，因此能够涂布含有微粒的液体。比如，在美国曾用于涂布C（碳）和Pt（铂）等燃料电池的电极材料。在FPD（平板·显示器）方面，有望用于TFT形成后形成导电膜等用途。